磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计

• 作者: 王岳环 王晓兰 罗敢
• 来源期刊: 计算机工程与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 稳速精度 单片机控制
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 221-223,233
• 页数: 4页
• 分类号: TP368.1
• 字数: 4076字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-8331.2002.07.074

摘要

该文叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差的主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王岳环	华中科技大学计算机学院	35	270	9.0	15.0
2	王晓兰	华中科技大学计算机学院	14	40	4.0	5.0
3	罗敢	华中科技大学计算机学院	3	1	1.0	1.0