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X射线扫描器--迅速制作纳米尺度粗糙度地图的新装置
X射线扫描器--迅速制作纳米尺度粗糙度地图的新装置
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摘要：
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纳米尺度线宽粗糙度测量技术
计量学
线宽粗糙度
边缘粗糙度
原子力显微镜
扫描电子显微镜
散射仪
基于波带片纳米聚焦装置的快速扫描X射线荧光成像实验系统
同步辐射
纳米聚焦装置
快速扫描荧光成像
纳米尺度栅线结构的线边缘粗糙度分析和表征
计量学
纳米栅线结构
线边缘粗糙度
线宽粗糙度
扫描电子显微镜
表面粗糙度比较样块校准装置建标方案探讨
粗糙度
计量标准
稳定性试验
比较样块
触针式
内容分析
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期刊影响力
激光与光电子学进展
主办单位：
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期：
半月刊
ISSN：
1006-4125
CN：
31-1690/TN
开本：
大16开
出版地：
上海市嘉定区清河路390号（上海市800-211信箱）
邮发代号：
4-179
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
9127
总下载数（次）
28
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