微机械器件形状与尺寸的图像测量研究

• 作者: 李晓莹 苑伟政 邓进军 马炳和
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械器件 形状尺寸 图像测量
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 页码范围: 101-103,107
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 2603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2002.z1.022

摘要

采用面阵CCD作为图像传感器,结合微机械器件结构尺寸的测量特点,建立非接触式无损图像测量系统,并给出了典型平面几何尺寸的测量原理和算法.试验结果表明系统具有良好的稳定性和较高的精度.