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摘要:
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类金刚石膜研究进展
类金刚石膜
成膜机理
结合力
摩擦性能
金刚石体积分数对金刚石/铜复合散热材料相关性能的影响
体积分数
金刚石/铜复合散热材料
物理性能
类金刚石膜在模具中的应用
类金刚石膜
力学性能
模具
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 三菱材料公司开发打光金刚石膜面的新技术
来源期刊 精细与专用化学品 学科
关键词
年,卷(期) 2002,(15) 所属期刊栏目 电子化学品
研究方向 页码范围 32
页数 1页 分类号
字数 语种 中文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
精细与专用化学品
月刊
1008-1100
11-3237/TQ
大16开
北京市安外小关街53号
82-877
1986
chi
出版文献量(篇)
7403
总下载数(次)
24
总被引数(次)
20231
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