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纳米级抛光液
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摘要：
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古典法抛光中抛光液的正确使用
抛光
抛光液
pH值
化学机械抛光中的纳米级薄膜流动
化学机械抛光
平面度
纳米级流动
温度场
静电层层自组装复合磨粒及抛光液的抛光性能研究
化学机械抛光
抛光液
复合磨粒
聚电解质
硅片
氧化铈抛光液悬浮性和再分散性研究
氧化铈抛光液
悬浮性
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期刊影响力
技术与市场
主办单位：
四川省科技信息研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1006-8554
CN：
51-1450/T
开本：
大16开
出版地：
四川省成都市
邮发代号：
62-125
创刊时间：
1980
语种：
chi
出版文献量（篇）
29073
总下载数（次）
69
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