新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光

• 作者: 宋亚星 张振宇 徐朝阁
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 碲锌镉 固结磨料 绿色环保抛光液 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2014,（22）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 3008-3011
• 页数: 4页
• 分类号: TH117
• 字数: 2960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2014.22.005

摘要

针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺“游离磨料－抛光－化学机械抛光”存在的缺点，提出“固结磨料研磨－新型绿色环保抛光液化学机械抛光”新方法。固结磨料研磨工艺为：采用3000号刚玉防水砂纸，压力为17 kPa ，抛光盘与抛光垫转速均为80 r／min ，研磨时间为5 min 。新型绿色环保抛光液含有双氧水和硅溶胶，采用天然桔子汁作为 pH 值调节剂。化学机械抛光工艺为：采用自行研制的化学机械抛光液，绒毛抛光垫，抛光压力为28 kPa ，抛光盘与抛光垫转速均为60 r／min ，抛光时间为30 min 。试验结果表明，经过上述加工可获得超光滑的表面，表面粗糙度算术平均值、均方根值、峰谷值分别可以达到0.568 nm 、0.724 nm 、6.061 nm 。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张振宇	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	9	33	3.0	5.0
2	宋亚星	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	1	7	1.0	1.0
3	徐朝阁	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	2	8	1.0	2.0