纳米金刚石薄膜研究进展

• 作者: 孙方宏 张志明 沈荷生 王学根 陈明
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 化学气相沉积 复合涂层
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TQ164
• 字数: 7006字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2003.05.001

摘要

本文对纳米金刚石薄膜的研究现状和发展趋势进行了综合评述,从纳米金刚石薄膜的沉积原理和工艺以及纳米效应表征等方面分析了国内外最新研究成果,比较了常规和纳米金刚石薄膜不同沉积工艺和形核生长机理,对纳米金刚石薄膜的硬度、内应力、摩擦特性等机械性能也作了概述,在此基础上,提出在常规金刚石薄膜基础上沉积纳米金刚石薄膜组成复合涂层的新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	陈明	上海交通大学机械与动力工程学院	192	1907	22.0	35.0
3	王学根	上海交通大学机械与动力工程学院	2	69	2.0	2.0
4	张志明	上海交通大学机械与动力工程学院	46	553	15.0	21.0
5	沈荷生	上海交通大学机械与动力工程学院	45	494	12.0	20.0