电磁驱动柔性振动膜无阀微泵

• 作者: 崔峰 苏宇锋 陈文元
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁驱动 微泵 无阀泵 硅橡胶
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 1796字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新型微泵设计方案和制作工艺,将电磁驱动器与大振幅振动膜相结合,得到流量大、易于控制的新型微泵.该微泵结构简单,由硅橡胶(聚二甲基硅氧烷PDMS橡胶)振动膜和无阀泵泵体组成,将硅加工工艺和非硅加工工艺(电镀)相结合.采用电镀和硅橡胶加工方法将振动膜直接制作在一个硅片上;用电镀和体硅加工工艺将驱动线圈和无阀泵泵体制作在另一块硅片上,然后将两个硅片键合在一起.对该微泵的性能特点正进行着更深入的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔峰	上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室	14	38	4.0	5.0
2	陈文元	上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室	56	274	10.0	14.0
3	苏宇锋	上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室	5	42	3.0	5.0