光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析

• 作者: 孙道恒 王明亮 王艳华 马海阳
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 静电力 顺序耦合
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TP211.4
• 字数: 1572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2003.03.004

摘要

采用顺序耦合法,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析,得出了悬臂梁的动态响应特性,并指出了空气阻尼对器件性能的影响,为微机械传感器的设计提供了有力的分析方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
2	王明亮	厦门大学机电工程系	5	33	3.0	5.0
3	王艳华	厦门大学机电工程系	5	32	2.0	5.0
4	马海阳	厦门大学机电工程系	4	48	3.0	4.0