卢瑟福背散射实验确定离子注入型半导体可饱和吸收镜研制过程中的注入剂量研究

• 作者: 刘媛媛 林涛 江李 王勇刚 马骁宇
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 卢瑟福背散射实验沟道效应 半导体可饱和吸收镜 离子注入
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与实验
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TN365
• 字数: 1955字
• 语种: 中文

摘要

通过测量卢瑟福背散射沟道谱和随机谱,掌握了一种可以对制作离子注入型半导体可饱和吸收镜过程中离子注入的剂量进行选择的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马骁宇	中国科学院半导体研究所	93	616	12.0	21.0
2	王勇刚	中国科学院半导体研究所	37	279	10.0	14.0
3	林涛	中国科学院半导体研究所	31	404	9.0	19.0
4	刘媛媛	中国科学院半导体研究所	30	168	8.0	12.0
5	江李	中国科学院半导体研究所	3	9	2.0	3.0