HFCVD系统热丝参数遗传优化

• 作者: 卢文壮 宋胜利 左敦稳 王珉 相炳坤 黎向锋
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报(英文版)
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 温度场 遗传算法 优化 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: O781|TQ164.8
• 字数: 354字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-1120.2003.01.008

摘要

在热丝化学气相沉积金刚石系统中,衬底温度是影响金刚石成膜质量的关键因素之一.为了沉积大面积优质金刚石膜,必须对衬底表面温度的大小及均匀性实施有效控制.文中通过应用遗传算法对热丝参数进行优化设计,保证了衬底在半径为Rs=10 cm的范围内具有较均匀的温度场,从而为大面积生长优质金刚石膜提供了可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	相炳坤	南京航空航天大学机电学院	20	134	8.0	10.0
4	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
5	黎向锋	南京航空航天大学机电学院	109	810	15.0	20.0
6	宋胜利	南京航空航天大学机电学院	9	144	6.0	9.0