等离子体渗氮流量控制系统的研究

• 作者: 危立辉 孙奉娄 郑芙蓉
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体渗氮 流量控制 高速真空电磁阀
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 电子与信息科学
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TN136
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2003.03.012

摘要

针对等离子体渗氮工艺过程中存在的转子流量计测量不准、调节精度低、质量流量控制器价格高、电磁阀失效等问题,设计了一种新的等离子体渗氮流量控制系统,该系统具有精度高、响应快、性能稳定、价格低的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	危立辉	中南民族大学电子信息工程学院	24	121	6.0	10.0
2	孙奉娄	中南民族大学电子信息工程学院	76	434	13.0	15.0
3	郑芙蓉	中南民族大学电子信息工程学院	7	15	3.0	3.0