真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用

• 作者: 吕永积 施化芬 蔡东山 邵佑军 黄庆云
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子平板摄像管 真空热预处理 非真空热后处理
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 286-289
• 页数: 4页
• 分类号: TN873.92|TN105
• 字数: 2154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2003.04.010

摘要

为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺.重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶.实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果.