在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响

• 作者: 刘光诒 吕永积 施化芬 罗运良 邵佑军
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子摄像管 硒气氛 六角形结构
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 189-192
• 页数: 4页
• 分类号: TN873.95|TN146
• 字数: 1180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.006

摘要

CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用.介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘光诒	中国科学院电子学研究所	8	13	3.0	3.0
2	罗运良		2	7	2.0	2.0