MEMS中几何量的测试方法

• 作者: 李智 王向军
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 MEMS检测 微视觉检测
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 51-56
• 页数: 6页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 4209字
• 语种: 中文

摘要

MEMS测试技术及方法是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节之一,讨论了应用于MEMS几何量测量的微视觉、扫描探针、光切、干涉、共焦、光栅投影等方法及基于材料和微结构特性的特殊测量方法,并详细论述了在MEMS微几何量测量中的微视觉检测原理及方法.结合干涉测量技术的微视觉测试方法能够涵盖从纳米级到毫米级的几乎全部的微几何量分布范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向军	天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术与仪器国家重点实验室	109	913	15.0	26.0
2	李智	天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术与仪器国家重点实验室	19	176	5.0	13.0