微等离子体氧化制备TiO2薄膜的结构特性

• 作者: 严立 刘莎 季世军 张世锋 高玉周
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 锐钛型 金红石 微等离子体氧化 陶瓷膜层
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2003.06.010

摘要

利用微等离子体氧化方法在纯Ti金属表面生长出一层厚度达20 (m的陶瓷氧化膜,并用X射线衍射、扫描电镜初步研究了氧化膜的组织结构和表面形貌.在不同电解质溶液条件下,得到3种不同类型结构组成的氧化膜:单一TiO2的锐钛型结构、TiO2锐钛型+金红石型的混合相结构、单一TiO2金红石结构.TiO2单一的锐钛型结构的氧化膜薄膜比较粗糙,TiO2金红石结构的氧化膜表面比较平滑,而混合相结构陶瓷膜的表面层为疏松的锐钛型结构TiO2,亚表层为金红石结构的TiO2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季世军	大连海事大学材料及工艺研究所	63	482	13.0	19.0
2	刘莎	大连海事大学材料及工艺研究所	21	142	6.0	11.0
3	严立	大连海事大学材料及工艺研究所	75	645	13.0	20.0
4	高玉周	大连海事大学材料及工艺研究所	44	467	12.0	19.0
5	张世锋	大连海事大学材料及工艺研究所	7	47	4.0	6.0