实时灰阶掩膜技术制作微透镜列阵

• 作者: 刘世杰 彭钦军 曾阳素 肖啸 郭永康 陈波
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 物理光学 实时灰阶掩膜 液晶显示 微透镜列阵 光刻
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 893-896
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2003.10.007

摘要

提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术,它将液晶显示(LCD)系统和投影光刻系统相结合,利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录,给出了原理分析.基于部分相干光成像理论,进行了微透镜制作的计算机模拟.建立了实验装置,并采用全色卤化银明胶(Kodak131)通过酶刻蚀得到半径为59.33 μm,深为1.638 μm的56×48微透镜列阵.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭永康	四川大学物理系信息光学研究中心	87	836	16.0	21.0
2	陈波	四川大学物理系信息光学研究中心	105	415	11.0	16.0
3	刘世杰	四川大学物理系信息光学研究中心	14	213	8.0	14.0
4	曾阳素	四川大学物理系信息光学研究中心	15	197	9.0	14.0
5	肖啸	四川大学物理系信息光学研究中心	13	66	4.0	8.0
6	彭钦军	四川大学物理系信息光学研究中心	7	116	5.0	7.0