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大直径单晶体生长控制系统研制
单晶体生长
滚珠丝杠
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PVT法制备4英寸碳化硅单晶研究
4英寸
碳化硅
横向延展
计算机模拟
实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统
硅中氧
碳含量
自动测量
傅里叶变换红外光谱
大直径直拉硅单晶炉热场的改造及数值模拟
直拉硅单晶
热场
加热器
热对流
氧含量
数值模拟
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 大直径硅单晶材料的技术进展
来源期刊 有色金属分析 学科 工学
关键词 硅单晶 大直径 技术进展 半导体 IC工业
年,卷(期) 2003,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 65-66
页数 2页 分类号 TN304.12
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研究主题发展历程
节点文献
硅单晶
大直径
技术进展
半导体
IC工业
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
有色金属分析
双月刊
北京新街口外大街2号信息所
出版文献量(篇)
547
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