纳米级位移分辨率双光栅系统的多普勒分析

• 作者: 刘辉 吕海宝 王跃科 苏绍璟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 多普勒分析 光栅 位移测量 莫尔条纹
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.01.004

摘要

使用多普勒理论分析了一种典型的具有纳米级位移分辨率的双光栅测量系统.在以往的文献中,只是简单的列出光栅系统的位移测量公式,对系统的工作原理分析避而不谈.文中首先给出了系统的光路结构,分析了光栅的衍射序列,然后对光束入射和出射光栅的多普勒效应进行了数学建模,得到了最终的位移测量值与光学莫尔条纹之间的关系.最后分析了参考光栅的作用,并给出了这种系统的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃科	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	72	767	14.0	25.0
2	吕海宝	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	10	124	5.0	10.0
3	苏绍璟	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	27	234	9.0	14.0
4	刘辉	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	4	49	3.0	4.0