硅离子注入聚合物表面改性的研究

• 作者: 刘安东 吴瑜光 周固 张旭 张通和
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 工学
• 关键词: Si离子注入 摩擦特性 表面结构变化 聚合物表面强化机理
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 2022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2003.01.006

摘要

采用MEVVA离子注入机引出的Si离子对聚酯薄膜(PET)进行了改性研究, 原子力显微镜观察表明, 注入后的聚酯膜表面比未注入PET更光滑. 用透射电子显微镜观察了注入聚酯膜的横截面表明, 注入层结构发生了明显的变化. 红外吸收测量揭示了Si-C和C-C的形成. 说明了碳化硅和碳颗粒的形成. 这些颗粒增强了注入层表面强化效果, 改善了表面导电特性 . 表面电阻率随注入量的增加而明显地下降. 当硅注入量为2×1017 cm-2时, PET表面电阻率小于7.9 -@m. 用纳米硬度计测量显示, Si离子注入可明显地提高聚酯膜表面硬度和杨氏模量. 表面硬度和杨氏模量分别比未注入PET时大12.5和2.45倍. 硅注入表面划痕截面比未注入PET的划痕窄而浅. 说明表面抗磨损特性得到了极大的增强. 最后讨论了Si离子注入聚酯膜改善特性的机理.