化学气相催化法生长碳纳米管及其器件的原位制备

• 作者: 江南 王太宏 陈寒元
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: 碳纳米管 化学气相催化法 原位制备纳米器件
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 264-270
• 页数: 7页
• 分类号: O48|O61
• 字数: 2916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.04.010

摘要

本文系统地讨论了化学气相催化法制备碳纳米管的工艺过程.讨论了化学气相催化法原位制备碳纳米管器件的技术,即先制备电极和催化剂结构,然后在电极上原位生长碳纳米管.与目前通常采用的先制备碳纳米管,然后超声分离、沉积,再光刻、蒸发制备电极的方法相比,该方法可以减少后处理工艺对碳纳米管结构带来的损伤,具有潜在的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江南	中国科学院物理研究所	110	2450	30.0	46.0
2	王太宏	中国科学院物理研究所	47	240	9.0	13.0
3	陈寒元	中国科学院物理研究所	3	2	1.0	1.0