二维微动工作台微位移机构特性研究

• 作者: 张世琪 张庆 王华坤
• 来源期刊: 制造技术与机床
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移机构 暂态响应 稳态响应
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TG502
• 字数: 2345字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2402.2003.11.017

摘要

微动工作台是微机电系统及其制造设备中的重要部件.文章结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机构的设计,建立了微位移机构的机电耦合模型.重点分析了机构的暂态响应和稳态响应及其影响因素,为微动工作台系统设计、改善微位移机构的响应速度以及控制系统参数的确定提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王华坤		38	500	12.0	21.0
2	张世琪		49	419	12.0	18.0
3	张庆		45	208	8.0	11.0