DWDM用薄膜窄带滤光片的容差特性模拟分析

• 作者: 刘旭 杨毓铭 顾培夫
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 波分复用 窄带滤光片 监控误差 容差分析
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 物理光学与薄膜光学
• 页码范围: 352-356
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2942字
• 语种: 中文

摘要

讨论了用于DWDM系统的薄膜窄带滤光片在镀制过程中的监控方法及误差产生的机理,利用自行建立的计算机膜厚容差模拟程序,分析了多Fabry-Perot腔窄带滤光片的容差特性.发现多腔窄带滤光片各腔的误差灵敏度与腔的位置有关,且各腔间隔层组成材料不同,其对误差最敏感的膜层位置也不相同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾培夫	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	141	1761	23.0	34.0
2	刘旭	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	214	1718	22.0	32.0
3	杨毓铭	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	6	45	4.0	6.0