低能量氩离子束轰击改善双极型晶体管的噪声特性

• 作者: 李旭 李观启 陈平 黄美浅
• 来源期刊: 华南理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 氩离子 轰击 噪声 寿命 晶体管
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2649字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-565X.2003.08.005

摘要

在完成超高频小功率晶体管的芯片和上部铝电极的制备工艺后,采用低能量氩离子束轰击芯片背面,能有效地降低其高频及低频噪声系数、提高其特征频率和电流放大系数.实验结果表明,晶体管低频噪声系数的下降与硅-二氧化硅界面的界面态密度的减小有关,而其高频噪声系数的下降是特征频率和电流放大系数增加的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李观启	华南理工大学应用物理系	20	44	4.0	5.0
2	陈平	华南理工大学应用物理系	29	234	8.0	14.0
3	黄美浅	华南理工大学应用物理系	22	79	4.0	8.0
4	李旭	华南理工大学应用物理系	9	9	2.0	2.0