NiTi/ Si薄膜驱动微型无阀泵的系统研究

• 作者: 傅新 刘玲 徐东 杨华勇 谢海波
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: SMA MEMS 微型无阀泵 数值计算 流量脉动
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 设计计算
• 页码范围: 920-922
• 页数: 3页
• 分类号: TB381
• 字数: 3102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2003.06.018

摘要

介绍了形状记忆合金/硅(NiTi / Si)复合膜驱动的微型无阀泵的结构及工作原理,采用Matlab对微泵的压力P和流量Q进行了计算和仿真,并将仿真结果与实验结果进行了对比.通过分析驱动膜的驱动频率与泵的几何结构对微泵性能的影响,得到微泵的优化方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅新	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	119	2269	24.0	43.0
2	杨华勇	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	350	6927	43.0	64.0
3	谢海波	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	41	442	12.0	19.0
4	刘玲	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	10	52	3.0	7.0
5	徐东	上海交通大学信息存储研究中心	23	187	6.0	13.0