面向MEMS构件在线检测和三维外型测量的立体视觉系统

• 作者: 傅建中 刘家豪 刘盛 陈子辰
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 计算机立体视觉 三维外型测量 MEMS构件 微操作系统
• 年，卷（期）: 2003,（22）
• 所属期刊栏目: 信息技术
• 页码范围: 1936-1939
• 页数: 4页
• 分类号: TP23|TB863
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.22.014

摘要

开发了可用于MEMS微制造和微装配过程的一种面向MEMS构件的在线监测和三维外型测量的视觉系统.介绍了该系统的设计、结构、工作原理及实现,并讨论了立体视觉模块的一些关键技术.参考微操作系统的原理,将立体视觉技术引入MEMS构件的检测,实现了由体视显微镜和一个CCD摄像机构建光学系统的三维外型视觉测量系统.实验结果表明,该系统是一种有效的三维检测解决方案.加以少量结构改进,该系统可以用于微制造和微操作过程中对MEMS构件的在线监测和三维外型的视觉测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈子辰		272	5059	38.0	56.0
2	傅建中		150	2422	26.0	43.0
3	刘家豪		3	56	3.0	3.0
4	刘盛		3	13	2.0	3.0