ZnO光电导紫外探测器的制备和特性研究

• 作者: 何乐年 叶志镇 吕建国 张银珠 邹璐 陈汉鸿 黄靖云
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 光电导紫外探测器 欧姆接触 光响应度
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1605-1607
• 页数: 3页
• 分类号: TN957.52
• 字数: 2683字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2003.11.002

摘要

以Si(111)衬底,用脉冲激光沉积(PLD)法制得C轴高度择优取向的ZnO薄膜,并利用剥离技术制备了ZnO光导型紫外探测器.Al叉指状电极是由平面磁控溅射技术沉积得到的.对Al/ZnO/Al的伏安特性和紫外光响应的研究表明,金属铝和ZnO能形成很好的欧姆接触,紫外探测器的电阻值在100KΩ左右.在紫外区域,其5V偏压下的光响应度为0.5A/W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
2	张银珠	浙江大学硅材料国家重点实验室	21	434	9.0	20.0
3	何乐年	浙江大学电机系	88	869	16.0	26.0
4	黄靖云	浙江大学硅材料国家重点实验室	51	610	12.0	23.0
5	吕建国	浙江大学硅材料国家重点实验室	35	769	12.0	27.0
6	邹璐	浙江大学硅材料国家重点实验室	5	300	5.0	5.0
7	陈汉鸿	浙江大学硅材料国家重点实验室	6	252	5.0	6.0