超精密装置二维F-PID振动控制系统设计

• 作者: 傅龙珠 梅德庆 陈亚良 陈子辰
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密装置 仿生学 主动振动控制 模糊PID控制
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1056-1059
• 页数: 4页
• 分类号: TH113.1|TH161.6
• 字数: 2503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.12.021

摘要

在模拟啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上,采用主动隔振和被动隔振相结合的技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型.结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求,提出了带有两个修正因子的闭环二维F-PID主动控制系统,即根据输入位移和速度的信号偏差大小分别采用不同的修正因子,并采用Matlab软件进行了仿真分析.仿真分析结果表明,该振动控制系统在0～100 Hz频率范围内具有良好的减振效果,可用于超精密测量、制造设备的隔振.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈子辰	浙江大学现代制造工程研究所	272	5059	38.0	56.0
2	梅德庆	浙江大学现代制造工程研究所	56	881	16.0	27.0
3	傅龙珠	浙江大学现代制造工程研究所	10	99	6.0	9.0
4	陈亚良	浙江大学现代制造工程研究所	6	43	3.0	6.0