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快速晶圆检测系统AMI-3000
快速晶圆检测系统AMI-3000
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尼康公司
半导体检测技术
晶圆检测
AMI-3000
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文献信息
篇名
快速晶圆检测系统AMI-3000
来源期刊
电子元器件应用
学科
工学
关键词
尼康公司
半导体检测技术
晶圆检测
AMI-3000
年,卷(期)
2003,(9)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
64
页数
1页
分类号
TN307
字数
语种
DOI
五维指标
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尼康公司
半导体检测技术
晶圆检测
AMI-3000
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子元器件应用
主办单位:
中国电子元件行业协会
出版周期:
月刊
ISSN:
1563-4795
CN:
开本:
大16开
出版地:
西安市科技路37号海星城市广场B座240
邮发代号:
创刊时间:
1999
语种:
chi
出版文献量(篇)
5842
总下载数(次)
7
总被引数(次)
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