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摘要:
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广义霍夫变换
多个圆检测
直线拟合
单晶硅晶圆晶向的精确标定方法
微机电系统
体硅工艺
晶向
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 快速晶圆检测系统AMI-3000
来源期刊 电子元器件应用 学科 工学
关键词 尼康公司 半导体检测技术 晶圆检测 AMI-3000
年,卷(期) 2003,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 64
页数 1页 分类号 TN307
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
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节点文献
引证文献  (0)
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二级引证文献  (0)
2003(0)
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研究主题发展历程
节点文献
尼康公司
半导体检测技术
晶圆检测
AMI-3000
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子元器件应用
月刊
1563-4795
大16开
西安市科技路37号海星城市广场B座240
1999
chi
出版文献量(篇)
5842
总下载数(次)
7
总被引数(次)
11366
论文1v1指导