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激光晶圆划片系统的设计
原文服务方：
机电信息
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射频CO2激光陶瓷基板划片机
陶瓷基板,激光划片,RF CO2激光器
射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究
射频CO2激光器
划片
氧化铝陶瓷基片
单晶硅晶圆晶向的精确标定方法
微机电系统
体硅工艺
晶向
晶圆贴膜金刚刀划片工艺
声表面波器件
金刚刀划片
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期刊影响力
机电信息
主办单位：
江苏《机电信息》杂志社有限公司
出版周期：
半月刊
ISSN：
1671-0797
CN：
32-1628/TM
开本：
大16开
出版地：
南京市鼓楼区清江南路18号鼓楼创新广场D栋1119室
邮发代号：
创刊时间：
2001-07-01
语种：
汉语
出版文献量（篇）
223
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