划片刀配方对砷化镓晶圆切割崩裂的影响

• 作者: 崔庆安 张迪 祝小威 闫贺亮
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 试验设计 砷化镓晶圆 切割崩裂 划片刀
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 页码范围: 61-66
• 页数: 6页
• 分类号: TG74|TG58
• 字数: 2371字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.1.0010

摘要

利用试验设计方法(design of experiment,DOE),以不同配方的划片刀划切砷化镓晶圆,并检测其正、背、侧面的崩裂尺寸,找出划片刀配方对砷化镓晶圆切割崩裂尺寸的影响规律.研究表明:划片刀的磨料粒度与砷化镓晶圆切割质量密切相关,即磨料粒度越细,正、背、侧面崩裂尺寸越小;而磨料浓度和结合剂强度与砷化镓晶圆正、背、侧面的切割质量相关性并不显著.可通过缩小磨粒尺寸的方式提高划切质量,并视情况调整磨料浓度和结合剂强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张迪	郑州大学管理工程学院	86	157	6.0	9.0
3	崔庆安	郑州大学管理工程学院	26	179	8.0	12.0
6	祝小威		1	0	0.0	0.0
10	闫贺亮		1	0	0.0	0.0