适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究

• 作者: 刘君华 刘月明 张少君 田维坚
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微谐振器件 光纤位移传感器 光纤"X"耦合器 锁相放大器
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 1216-1219
• 页数: 4页
• 分类号: TH825
• 字数: 2144字
• 语种: 中文

摘要

对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤"X"耦合器结构,在微弱光电传感信号处理上采用了"锁相放大器"提取方案,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量.对该传感器的实测结果表明:该传感器测量范围为0～100 μm,测量灵敏度3.95 mV/μm,精度等级优于1%,重复性优于0.5%.为作为应用实例,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量,并具有非接触、易调试、高灵敏度等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电气工程学院	224	3216	28.0	45.0
2	刘月明	中国科学院西安光学精密机械研究所	14	60	5.0	7.0
4	田维坚	中国科学院西安光学精密机械研究所	39	492	13.0	20.0
5	张少君	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	16	86	5.0	9.0