一种新型光学微环谐振腔加速度传感器的研究

• 作者: 李志全 王文娟 郭士亮
• 来源期刊: 燕山大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微环谐振器 加速度传感器 固支梁 波长漂移 灵敏度
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 控制科学与工程
• 页码范围: 361-364
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-791X.2014.04.011

摘要

提出了一种跑道型谐振腔与固支梁相结合的新型加速度传感器结构。采用FDTD法分析了环形微环谐振腔和跑道型微环谐振腔的光谱特性，得出具有高值的跑道型微环谐振器更适用于作传感器件，利用输出光谱在加速度作用下产生漂移的特性测得了系统的加速度值。仿真结果表明：加速度值在0~50范围内，系统的灵敏度可达到47.7 pm/，并且固支梁的厚度是影响系统灵敏度的重要因素。该结构为制备高灵敏度、低成本的微型加速度传感器提供了理论基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志全	燕山大学电气工程学院	201	1342	17.0	24.0
2	郭士亮	燕山大学电气工程学院	15	60	6.0	7.0
3	王文娟	燕山大学电气工程学院	3	10	2.0	3.0