基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器

• 作者: 张国炳 徐佳嘉 武国英 郝一龙 闫桂珍
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 气体传感器 荷质比 牺牲层工艺
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 658-661
• 页数: 4页
• 分类号: TN389
• 字数: 781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.04.014

摘要

研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器.该传感器在敏感环境中,可同时获得敏感膜电导率和质量变化,测量被测气体分子的荷质比,具有高灵敏度和高选择性.根据这一原理,针对气体传感器的需求,设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构,进行了仿真优化,并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件,激光频率仪测量验证了该微型谐振梁的谐振频率.