一种栅型结构微机械陀螺的研究

• 作者: 熊斌 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 微机械陀螺 动力学方程 角速度传感器 微机械加工技术
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 184-186
• 页数: 3页
• 分类号: V241.5|O318
• 字数: 3020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.03.002

摘要

介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作.新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼,且几乎相同,惯性质量块为栅型结构,由弹性悬臂梁支撑;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方.分析了新型陀螺的工作特性,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响.实验结果表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子Q均可达到66.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0