梳齿式微机械陀螺支撑系统的结构仿真与分析

• 作者: 张文栋 李林 李锦明
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 角速率传感器 机械陀螺 齿式 限元分析 性系数
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 1144-1147
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3352字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.04.055

摘要

微机械陀螺是利用哥氏(wriolis)效应测量角速度的一种角速率传感器.提出一种梳齿式微机械陀螺结构,并且使用有限元仿真软件ANSYS对陀螺中的关键部件--支承梁进行结构仿真,在仿真过程中分别采用了整体建模和简化建模的方法对支撑梁的弹性系数进行了分析比较,最终得出可以采用简化模型代替整体模型对微机械陀螺中的支撑梁进行分析的结论,为陀螺支撑系统的仿真和分析提出了新的思路.