复制多元光学元件的模型型芯机器集成形状检测

• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 品质保证 机器集成模型检测 粗糙度检测 非球面检测 微结构检测 仿真
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 308-313
• 页数: 6页
• 分类号: TN0
• 语种: 中文

摘要

表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于超精密表面,例如微结构的或连续结构的光学器件,宜应用干涉法进行形状检测,因为干涉法有极高的精度和适应性,此外,表面可被迅速检测,因而减少生产时间.但是干涉法对机器振动、噪声或空气扰动等外界影响十分敏感,因而很难在生产环境中完成干涉测量.提出了在机械加工环境中的干涉测量和基于对在位干涉检测中各种基本干涉影响分析结果基础上的仿真.