光刻机镜头的结构设计与装配

• 作者: 李连进
• 来源期刊: 天津理工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 193 nm激光 光刻 光刻物镜
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TN202
• 字数: 2633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-095X.2004.01.007

摘要

介绍工作波长为193 nm的投影光刻物镜的研制,对结构型式的确定和材料的选择以及加工装配工艺进行充分考虑,提出投影光刻物镜结构设计和装配方法.本文研制的镜头在光刻机中获得了广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李连进	天津理工学院机械工程学院	16	107	6.0	9.0