碳基场发射冷阴极材料的研究

• 作者: 孙卓 徐东 林仰魁 蔡炳初 钱开友
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: 场发射冷阴极 金刚石 类金刚石 碳纳米管
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 字数: 5234字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2004.05.004

摘要

场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位.目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位.阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望.