射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析

• 作者: 侯廉平 朱洪亮 王圩 陈培峰
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷基板 划片机 光路 设计
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 137-140
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.2+2
• 字数: 2808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.02.029

摘要

介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符.利用该陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈培峰	华中科技大学激光技术与工程研究院	7	75	5.0	7.0
2	侯廉平		2	3	1.0	1.0
3	王圩		3	6	2.0	2.0
4	朱洪亮		2	4	1.0	2.0