低阻硅衬底上形成的低损耗共平面波导传输线

• 作者: 于绍欣 徐欣 朱自强 游淑珍 王伟明 葛羽屏 邵丽 郭方敏 陆卫
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频(RF)/微波(MW) 多孔硅/氧化多孔硅 共面波导 插入损耗
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 357-359
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 2013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.05.010

摘要

在厚膜多孔硅(PS)/氧化多孔硅(OPS)衬底上,结合聚酰亚胺涂层改善表面,研制低损耗、高性能射频(RF)/微波(MW)共平面波导CPW(Coplanar Waveguide).通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜,并对其上的CPW进行分析比较,厚膜PS与石英的共面波导插入损耗非常接近,远小于在2000Ω·cm高阻硅上形成的多晶硅-氧化硅组合衬底:在0-33GHz范围,插入损耗小于5dB/1.2cm;33-40GHz范围,小于7.5dB/1.2cm.