化学蚀刻在光纤光栅低频微振加速度传感器中的应用

• 作者: 李颖
• 来源期刊: 燕山大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 光纤光栅 化学蚀刻
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 341-343
• 页数: 3页
• 分类号: TM45
• 字数: 1584字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-791X.2004.04.014

摘要

介绍了一种自行研究应用双光纤光栅作为传感元件的加速度传感器制作方案,在理论上论证了使用双光纤光栅对加速度的测量具有不受温度影响和增加灵敏度的优点.同时,分析了化学蚀刻在Si晶体上制作光纤光栅加速度传感器的具体工作过程,以及残余应力对传感器的影响.