激光聚变靶球充气微孔扫描探针加工技术研究

• 作者: 傅依备 唐永建 孙涛 董申 闫永达 高党忠
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 工学
• 关键词: 靶球 扫描探针显微镜 金刚石微探针 微加工工艺 脆性材料
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 305-310
• 页数: 6页
• 分类号: TN2
• 字数: 3421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2004.03.008

摘要

为解决核聚变激光靶球诊断气体充气问题及满足充气微孔良好的堵胶工艺性,基于扫描探针显微镜的金刚石探针为工具,采用接触力扫描方式对靶球充气微孔进行了微加工工艺研究.研究了金刚石针尖扫描方向、扫描速度及扫描接触压力等工艺参数对微孔形成的影响,得到了较准确的锥状孔型,其孔型尺寸与加工精度满足微孔充气及其堵胶工艺性的要求.实验结果表明,利用扫描探针显微镜作为工具并通过加工工艺研究,可以实现靶球充气锥型微孔的精确加工,为靶球高Z气体的注入提供了一种新的实用技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
3	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
5	闫永达	哈尔滨工业大学精密工程研究所	34	237	9.0	13.0
6	傅依备	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	107	1215	17.0	26.0
7	高党忠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	44	290	11.0	15.0