喷雾热解法制备薄膜技术

• 作者: 刘开平 宫华
• 来源期刊: 中国陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 喷雾热解法 静电雾化沉积 等离子体增强喷雾热解法
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 探索与交流
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055|O484.2.4
• 字数: 3542字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9642.2004.05.010

摘要

介绍了喷雾热解法制备薄膜技术,综述了喷雾热解法制备薄膜的研究进展,着重介绍了喷雾热解法制备铁电薄膜的研究,以及等离子体增强喷雾热解法制备薄膜技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘开平	长安大学材料工程系	99	860	17.0	23.0
2	宫华	长安大学材料工程系	10	166	6.0	10.0