新型MEMS氨气传感器的测试

• 作者: 林吉申 王灵婕 陈盛
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 氨气 传感器 测试
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统(MEMS)
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1850字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z3.007

摘要

本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王灵婕		8	21	3.0	4.0
2	林吉申		8	49	4.0	7.0
3	陈盛		3	11	1.0	3.0