双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性

• 作者: 戴瑞萍 王德波 陆颢瓒 魏良栋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 功率传感器 双通道 悬臂梁 匹配特性 回波损耗
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 页码范围: 2133-2138
• 页数: 6页
• 分类号: TN62|TP212.1
• 字数: 1353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182609.2133

摘要

为了降低双通道MEMS微波功率传感器的回波损耗,提高传感器的测量精度,对MEMS悬臂梁的匹配特性进行了研究.首先,通过双通道MEMS微波功率传感器结构构建S参数的理论解析模型,分析了双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性,得到了M EM S悬臂梁的间距和回波损耗系数S11的关系;接着利用有限元软件H FSS进行仿真,并和理论结果比较;然后,设计并制作了双通道微波功率传感器;最后,对该传感器的匹配特性进行了测试和分析.实验结果表明:当MEMS悬臂梁的间距为1.6μm时,该传感器在测量8～12 GHz频率内的微波信号时,回波损耗小于-19 dB.理论和仿真结果较为相符,因此S参数的理论解析模型可以较好地反映双通道M EM S微波功率传感器的匹配特性,对双通道M EM S微波功率传感器的设计具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德波	南京邮电大学电子与光学工程学院	19	23	3.0	4.0
2	戴瑞萍	南京邮电大学电子与光学工程学院	4	0	0.0	0.0
3	陆颢瓒	南京邮电大学电子与光学工程学院	5	3	1.0	1.0
4	魏良栋	南京邮电大学电子与光学工程学院	1	0	0.0	0.0