一种新型的在线式微波功率传感器

• 作者: 廖小平 韩磊 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波功率 功率传感器 在线式 MEMS GaAs MMIC工艺
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1144-1148
• 页数: 5页
• 分类号: TN377
• 字数: 3071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.07.029

摘要

提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示,在12GHz频率以内,微波功率传感器的反射系数小于-15dB,插入损耗小于2dB,在10GHz中心频率下的灵敏度为10 4μV/mW.