新型MEMS致冷器研究

• 作者: 刘少波
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微型MEMS致冷器 pn结热电薄膜 铁电薄膜 电生热效应 Seeback效应
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TP271+.2
• 字数: 3700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.01.006

摘要

微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却.因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件、低功耗的新型致冷器.着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘少波	中国科学院电工研究所微纳加工部	11	68	5.0	7.0