脉冲激光淀积MgF2薄膜的制备及性质研究

• 作者: 于琳 余庆选 廖源 揭建胜 方容川 王冠中 韩新海
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 脉冲激光淀积 MgF2薄膜 透过率
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4+1|TN304
• 字数: 1645字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2004.01.012

摘要

本文采用脉冲激光淀积方法(PLD)制备了MgF2光学薄膜,并对其表面形貌以及光学性质进行了测试分析,X射线光电子能谱分析显示MgF2样品具有很好的化学组分配比,F/Mg原子比在1.9～2.1之间,接近于体材料;在可见光波段其光学透过率为60%～80%,在红外波段更是达到了90%以上,由KK变换计算MgF2的折射率大约为1.39,也接近于体材料的折射率1.38.