微机械桥型压控振荡器

• 作者: 刘君华 朱长纯 赵红坡 邵军 韩建强
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 工学
• 关键词: 压控振荡器 微桥 谐振器 微机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TN75
• 字数: 2232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2004.01.002

摘要

设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器. 通过调节压敏电桥的桥压, 改变桥的平均温升和轴向应变, 可调节压控振荡器的中心频率. 理论计算和实验结果表明, 输出信号的频率与桥压的平方具有良好的线性关系. 对所测试的器件, 其线性度为0.16%, 振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为17.15%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电信学院	224	3216	28.0	45.0
2	朱长纯	西安交通大学电信学院	215	2372	22.0	41.0
3	邵军	西安交通大学电信学院	7	58	3.0	7.0
4	韩建强	西安交通大学电信学院	13	121	6.0	11.0
5	赵红坡	西安交通大学电信学院	3	55	2.0	3.0